1、安裝狀態(tài)/安裝模式
為了使用激光位移傳感器測量目標物,需要接收器獲取目標物的反射光。為了使三角測量方式的激光位移傳感器可適當接收反射光,需根據目標物的表面狀態(tài),傾斜安裝傳感頭。
2、參考距離
通過(guò)激光位移傳感器測量目標物時(shí),測量值為0的點(diǎn)。一般表示從傳感頭的下面到測量范圍中心的距離。
3、測量范圍
表示激光位移傳感器可測量目標物位移量的范圍。一般以參考距離為基準,表示±○○mm。比如:參考距離:30 mm,測量范圍:±5 mm,表示激光位移傳感器可在以下范圍內測量目標物。
4、光源
在激光位移傳感器中使用光線(xiàn)從發(fā)射器對目標物照光,并用接收器接受其反射光。該光源可使用紅色半導體激光、藍色半導體激光、白光、SLD、綠色LED等多種光。依照測量?jì)x原理決定使用哪種光源,并使用光源相應的鏡頭和光接收元件等,可實(shí)現高精度的測量。
5、光點(diǎn)直徑
激光位移傳感器一般包括2種光點(diǎn)直徑。分為橢圓形狀的光點(diǎn)直徑和小光點(diǎn)型的光點(diǎn)直徑。
橢圓形狀的光點(diǎn)直徑可測量橢圓內的平均高度,因此不易受到目標物表面粗糙度誤差的影響。但光點(diǎn)尺寸變大,因此不適于測量形狀和較小部位。
而小光點(diǎn)型的光點(diǎn)直徑光點(diǎn)較小,可有效測量形狀或細微部位,但同時(shí)還會(huì )跟蹤表面粗糙度,與橢圓形狀的光點(diǎn)直徑相比,易于受到表面粗糙度誤差的影響。
6、重復精度
表示重復測量目標物定點(diǎn)時(shí)的偏差。
7、直線(xiàn)性
直線(xiàn)性是表示激光位移傳感器性能的指標。表示理想值與實(shí)際測量結果誤差的最大值。例如,使用直線(xiàn)性為±5μm的測量?jì)x移動(dòng)1㎜的目標物時(shí),表示所顯示的值可能包含±5μm的誤差(9.995μm至1.005μm)。
直線(xiàn)性的規格規定為±○○%of F.S.,F.S.表示測量范圍,可按以下示例進(jìn)行計算。直線(xiàn)性越小的測量?jì)x越可稱(chēng)之為越好的測量?jì)x。
8、溫度特性
溫度特性表示傳感頭的溫度變化1度時(shí)所發(fā)生的測量值誤差的最大值。在傳感頭的內部中,使用了鏡頭或CMOS及固定這些構件的夾具。因溫度變化,上述構件會(huì )發(fā)生膨脹或收縮,且成像在CMOS上的光點(diǎn)位置變化會(huì )產(chǎn)生誤差。
9、環(huán)境光照
表示激光位移傳感器可不受外部光線(xiàn)影響進(jìn)行測量的外部光源的最大照度。
10、環(huán)境溫度
保證測量?jì)x動(dòng)作的溫度環(huán)境。
11、相對濕度
保證測量?jì)x動(dòng)作的濕度環(huán)境。
12、抗震動(dòng)
表示對激光位移傳感器振動(dòng)影響的指標。
13、采樣周期/采樣速度
表示激光位移傳感器在1秒內可測量的數據點(diǎn)數。采樣周期為100 Hz的激光位移傳感器在每秒可進(jìn)行100次測量。采樣周期越快的激光位移傳感器越可準確測量在線(xiàn)移動(dòng)的目標物,或可進(jìn)行較多單一時(shí)間內的平均化處理,因此能穩定測量值。
14、接收光波形
表示光接收元件接收到的光的狀態(tài)為接收光波形??v軸表示光的強度,橫軸表示光接收元件上的位置。通過(guò)確認接收光波形的形狀,可判斷是否準確進(jìn)行當前測量。
①理想的接收光波形
可穩定測量的接收光波形。
②接收光波形的高度較低時(shí)
無(wú)法獲得充足的反射,因此無(wú)法進(jìn)行測量。
③接收光波形的高度過(guò)高時(shí)
處于飽和狀態(tài)。此時(shí),測量值的偏差變大。
④接收光波形的形狀左右不對稱(chēng)時(shí)
測量樹(shù)脂等時(shí),激光將進(jìn)入目標物中,使得接收光波形左右更加不對稱(chēng)。
此時(shí)的測量值將根據進(jìn)入量平移實(shí)際值。
⑤存在多條接收光波形時(shí)
測量玻璃等透明目標物時(shí),會(huì )產(chǎn)生1條以上的峰值。測量玻璃時(shí),可獲得表面反射峰值和里面反射峰值總計2條峰值。
15、光軸、光軸區域
將激光位移傳感器發(fā)射器照射的光的中心軸稱(chēng)為光軸。
光軸區域圖表示從發(fā)射器到接收器的光的路徑。若在該區域內放入夾具等,則光不會(huì )照射到目標物或接收器,因此無(wú)法進(jìn)行測量。
16、電源電壓
驅動(dòng)產(chǎn)品時(shí)所需的電源電壓。如果為24 VDC±10%的規格,則表示直流電源,需要電壓24 V變動(dòng)量在±2.4 V以?xún)鹊碾娫础?
17、最大消耗電流
驅動(dòng)產(chǎn)品時(shí)所消耗的電流量。使用的電源需要選擇比該最大消耗電流容量還大的產(chǎn)品。